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MX51的详细说明
发布时间:2018/3/15 10:50:56   点击次数:1387次

MX51的详细说明
  产品特性
  紧凑的设计实现小的占地空间
  镜臂部分和镜体分开,使高的样品观察成为可能
  标配158X158mm手动移动载物台(大可用于200mm晶圆检查)
  选配长工作距离物镜,极大方便磁头检查
  采用防静电设计,极大方便磁头检查
  提高系统灵活性和操作舒适性,满足SEMI S2/S8标准
  光学系统:UIS (无限远矫正) 光学系统MX51
  显微镜镜体:Z轴同轴粗微调调焦,载物台行程范围:32mm(从焦面上行2mm和下行30mm)行程相同:15mm(配合透射光照明)Z轴微调焦每旋转一周的行程0.1mm(1个单位1μm)调焦机构张力可调有调焦上限位机构MX51
  照明系统:BX-KMA明视场照明器BX-RLA2明视场/暗视场照明器BX-URA2万能照明器MX51
  透射照明:明视场MX-TILLK照明灯,配备光纤照明附件(MX-TILLK须与MX-SIC6R2配合使用)
  OLYMPUS MX51是一款显微镜,采用防静电设计,无限远矫正光学系统。

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