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白光干涉显微镜

更新时间:2021-04-14 13:50:09

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简要描述:

白光干涉显微镜我公司的8"×8"快速移动载物台,是国内一家自己设计生产的,完全满足8"以下的所有LCD、IC晶圆等大尺寸的快速检测。 粗、微动调焦组,小每格0.2um,在通过粗调焦找到观测的大概位置后,通过微调焦调节到好的的观测效果。

目前大部分高级偏光、DIC等显微镜主要依赖于国外进口,基本上被Zeiss、Leica、Nikon、Olympus垄断。在针对TFT-LCD行业中显微影像检测频繁,也是为重要的检测环节(看导电粒子的压破状况,看爆破,及其开口等)。由于考虑国外显微镜昂贵,站在客户节约成本的立场情况下,我们公司经过自己研发推出国内一款FPD导电粒子检测显微镜(DIC显微镜),可以达到国外品牌的清晰观测导电粒子的效果,在成本控制方面严格把关,给我们的客户提供更好的双赢的机会。 

白光干涉显微镜特点:

  1. 缺点,设计采用了高亮度,低热量、长寿命的显微镜内置LED灯照明,既环保,又给工厂减少了耗材备品和更换频率(LED灯源使用寿命2年以上)。
  2. 我公司的8"×8"快速移动载物台,是国内一家自己设计生产的,完全满足8"以下的所有LCD、IC晶圆等大尺寸的快速检测。
  3. 粗、微动调焦组,小每格0.2um,在通过粗调焦找到观测的大概位置后,通过微调焦调节到好的的观测效果。
  4. 白光干涉显微镜标准配置: 

    型号

    SQ200A

    主机

    SQ200A主机:含5W落射照明器及控制器、偏光、DIC棱镜预备口。

    目镜

    大视野 WF10X(Φ22mm)

    物镜

    DIC物镜5X/0.12    WD=9mm

    DIC物镜10X/0.15   WD=7mm

    DIC物镜20X/0.15   WD=8mm

    目镜筒

    三目镜,(瞳距调节范围:22mm-55mm,光路切换:100:0/0:100)

    落射照明

    5W高亮度LED灯,亮度可调

    调焦机构

    上调焦:粗调,调焦范围50mm

    下调焦:粗微动同轴调焦,
    调焦范围:15mm,微动格值:2μm,
    粗动松紧调节

    DIC

    DIC干涉棱镜

    载物台

    FS 8"
    快速移动平台(尺寸:350mmX255mm,行程:200mmX200mm,可微调)

    转换器

    三孔(滚珠内定位)

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